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你了解真空等离子清洗机的气路控制吗?
来源:http://www./ | 发布时间:2019-11-05

  你知道吗?真空等离子清洗机的工艺气体是工艺参数中的重要组成部分,它的流量大小和准确度对等离子处理影响非常大。那么真空等离子清洗机是如何实现各功能气路的控制及工艺气体稳定的呢?接下来我们就为大家介绍一下关于真空等离子清洗机气路控制各组件的功能及基本原理。

  首先,我们来说说真空等离子清洗机气路控制部分的主要组件。

  1、气体调压及处理组件

  真空等离子清洗机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体,因此气体调压及处理组件基本结构多为调压阀和过滤器组成。它的主要作用是将气压控制在所需要的压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质,以此来保障后端流量计等组件的运行稳定性和气体洁净度。目前真空等离子清洗机的常用的气体调压及处理组件按结构特点可以分为组合式和一体式两种形式。

  2、带报警输出的减压表

  为了实时监控等离子清洗机的气体压力是否符合工作要求,在气体调压阀上都会安装带有报警输出功能的压力表,在压力过低时输出报警信号,以此保证设备的正常运行及工艺气体的稳定。这种带报警输出的减压表根据展示方式可以分为指针式和数显示两种形式。

  3、真空电磁阀

  真空等离子清洗机在工作时需维持工艺要求的真空度及真空腔体的密封,因此其连接腔体的各气路阀门必须满足真空密封要求,一般选择相匹配的带气路控制的真空电磁阀。真空等离子清洗机为保证运行稳定性,因此都是一个真空电磁阀控制一路气体,所选用的真空电磁阀都是两位两通式的。

  4、流量计

  真空等离子清洗机的进气量是由流量计所控制的,它的工作原理是通过调节通入气体阀门的大小来实现通流量的控制,等离子清洗机使用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量控制器(MFC)两种。

  气体浮子流量计是通过手动调整开启阀门的大小来实现气体流量控制,阀门开启后会受气体压力变化、震动等多因素影响而造成实际通入气体流量浮动范围大,不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。

  质量控制器一般都是自动对工艺气体的质量流量进行精密测量和控制,保证等真空离子清洗机处理工艺的稳定;对于部分腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现准确的控制。

  其次,我们来说说真空等离子清洗机的气路控制布局及特点。

  1、常用气路控制布局

  真空等离子清洗机常规气路通常包括两路工艺气体控制、一路破空气体控制、一路压缩空气(CDA)控制。

  2、各气路组成部分及特点

  压缩空气控制部分只需要气体高压、过滤器及带输出报警压力表整套组件,不需要其他的组件。因为CDA为部分元件的动力气体,只需要在气体压力不足时提供报警服务即可。

  破空气体部分是在CDA控制气路基础上增加一支大口径的真空电磁阀,在工艺运行结束后为真空腔体提供破真空气体输入服务。因为破真空气体通常为高洁净气体,所以部分破真空气路中没有安装过滤器。

  工艺气体通常为高洁净气体,过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出报警表、真空电磁阀和质量控制器。工艺气体通常配置两路,可以根据要求配置多路。

  3、真空等离子清洗机的气体各控制组件及进气顺序如下:过滤器→调压阀,带报警输出压力表→真空电磁阀→质量控制器

  以上就是小编为大家介绍的关于真空等离子清洗机气路控制部分的主要组件、控制布局及特点等相关知识,如果您想了解更多这方面知识,可以关注我们哦。

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